等离子刻蚀设备如何操作,步骤是什么?
进行等离子刻蚀的操作步骤可以清晰地归纳为以下几个部分:一、前期准备样品制备:选择合适的衬底,如石英、蓝宝石、硅等。在衬底上生长晶体,使用如化学气相沉积(CVD)或分子束外延(MBE)等技术。将生长好的晶体切成所需的形...
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